玻璃光罩检查机：

特点︰
速度提高 / 检查度提高
大约3倍检查速度 (和Marvel系列相比)
检查度提高
可做大容量数据处理
可对应各种检查物
可受理特别功能.尺寸订货

▉速度提高
藉由新开发的图像处理装置. 高速感应器使本机的检查速度提高为本公司以前设备的约3倍.对细微的线路.大尺寸光罩发挥检查威力.

▉检查度提高
藉由新开发的图像处理装置, 和现存的配对精度相比精度提高了许多,同时藉由电脑硬体处理, 不会因图像左右了检查时间, 可做高速检查,而且, 在数据比较功能开启的情况下, 进行CAD影像自动分析, 在时间作成检查领域, 就算是既往常发生的疑似缺点的线路, 也可能进行有效的DRC检查.

▉大容量数据处理
藉由特别开发的CAM电脑硬体, 以往难处理的大容量数据也能处理.

▉可对应各种检查物
和以前的line up一样, 可检查底片光罩.玻璃光罩.网版. 金属光罩,还有因应需要, 也可能检查表面刮伤.脏污.突起等. 除了上述的检查物以外也请和本公司确认.